製品詳細情報

半導体材料基板のベベル加工用ホイールです。

ノッチ加工用ホイールには次の3つのタイプがあります。

１．片溝タイプ

２．多溝タイプ

３．複合粗仕上げ用

特長

＊均一な単相ダイヤモンド層が加工ダメージを最小限に抑えます。

＊高度な砥粒保持力の耐摩耗ボンドの使用により、高い形状持続性と長寿命を実現。

＊高精度な溝形状と仕上げ技術により、様々な形状のウエハに対応します。