TCSS-200型双工位线切机
设备型号
TCSS-200A型单工位线切机
TCSS-200B型双工位线切机
TCSS-200L型单线截断机
适用范围
光学玻璃、石英玻璃、蓝宝石等；
半导体晶硅；
碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料；
稀土永磁；
压电陶瓷、磁性陶瓷、光学陶瓷、石英陶瓷等；
其他非金属硬脆材料
加工精度
| 项目 | TCSS-200B型双工位线切机 | TCSS-200A型单工位线切机 | TCSS-200L型单线截断机 |
| 平面度(mm) | ≤0.03 | ≤0.03 | ≤0.05 |
| 平行度(mm) | ≤0.03 | ≤0.03 | ≤0.05 |
| 一致性(mm) | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
| 表面粗糙度(Ra) | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.6 |
| 切缝宽度偏差 | ±5% | ±5% | ±5% |
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语言
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